ガラスのフェムト秒レーザーGHzバースト穿孔の進歩： バースト形状と持続時間の影響

記事掲載日： 2023年5月30日
MDPI – マイクロマシンジャーナル
概要

フェムト秒GHzバーストモードレーザー加工は、ここ数年で注目を集めています。ごく最近、この新しい領域を使用した最初のパーカッションドリリングの結果がガラスで報告されました。本研究では、特にバースト時間と形状が穴あけ速度と穴の品質に与える影響に焦点を当て、ガラスへのトップダウン穴あけに関する最新の結果を発表します。我々は、バースト内のパルスのエネルギー分割を減少させることで、穴あけ率を向上させることができることを示します。
しかし、穴はより低い深さで飽和し、エネルギー分布が増加または平坦になった穴よりも品質が低下します。さらに、バースト形状の関数として穴あけ中に発生する可能性のある現象についての洞察を与えます。

フェムト秒レーザーによるガラスのGHzバースト穴あけ加工の進歩_2023年5月号記事全文をダウンロード

キーワード: 超高速レーザー加工; フェムト秒GHzバースト; レーザーと材料の相互作用; ガラス；
パーカッションドリリング

著者

Pierre Balage、ボルドー大学-CNRS-CEA、CELIA UMR 5107

ギヨーム・ボナミス、アンプリチュード

マノン・ラファルグ、ボルドー大学CNRS-CEA、CELIA UMR 5107 & Amplitude

Théo Guilberteau、ボルドー大学CNRS-CEA、CELIA UMR 5107

Martin Delaigue（アンプリチュード

Clemens Hönninger、Amplitude

Jie Qiao、ボルドー大学-CNRS-CEA、CELIA UMR 5107 & Chester F. Carlson Center for Imaging Science、ロチェスター工科大学

ジョン・ロペス、ボルドー大学-CNRS-CEA、CELIA UMR 5107

Inka Manek-Hönninger 、ボルドー大学-CNRS-CEA、CELIA UMR 5107