ディスプレイパネル業界は、過去数十年の間に急速かつ目覚ましい進化を遂げ、LCDからOLEDパネルへ、そして現在は最先端のμLEDとOLED技術へと移行している。このようなディスプレイの絶え間ない革新は、製造工程に継続的な課題を課している。スマートフォン、IT製品(タブレット、ノートパソコン、モニター)、テレビ、そして現在ではVR/AR製品など、さまざまなデバイスにおいて、斬新な機能、自由な形状、新素材の使用、高精細ディスプレイの追求が求められる中、この業界は高度なソリューションを必要としています。これらのソリューションは、最高の精度、品質、生産性を提供しなければならない。
フェムトセカンド・レーザー技術は、従来のレーザー技術に代わる優れた技術であり、市場で唯一利用可能なソリューションであることも多い;
フラットパネルディスプレイにおけるレーザー技術の利点
フラット・パネル・ディスプレイ製造にレーザー技術を採用することは、多くの利点をもたらす:
- 比類のない精度:フェムト秒レーザーは、優れたビーム品質で厳しい集光を可能にし、正確な切断、穴あけ、選択的アブレーションのための微細な精度を可能にします;
- 高品質:フェムト秒レーザーと物質の相互作用により、熱影響(熱影響部 – HAZ)が限定されたアブレーションが可能になります。その結果、切断、穴あけ、または選択的アブレーションプロセスが比類のない品質で実行されます。
- 優れた生産性:フェムト秒レーザーの高出力化が進み、高速加工が可能になった。
ディスプレイ製造において超短パルスレーザーで何ができるか?
OLEDの修理
アレイ修理。
ディスプレイパネルはTFT(薄膜トランジスタ)アレイでできている。このTFTアレイは、さまざまな種類の材料の複数の薄膜層でできている。製造工程中、ピクセルのアレイはしばしば汚染(ほこり)や欠陥の可能性にさらされます。フェムト秒レーザーのおかげで、製造中にそのような異常を修正することができるようになり、ディスプレイの品質を最適化し、生産歩留まりを向上させることができるようになりました。
細胞修復。
アレイの修理以外に、ここ数年、新しい用途が出現している。セル工程は製造チェーンの後半に位置し、汚染や欠陥が発生する可能性もあります。フェムト秒レーザは、このような問題に対処し、パネル・メーカーの生産歩留まりを向上させることができます;
OLEDカッティング
過去数年間、ディスプレイ製造の主なトレンドの1つは、「デバイス面積」に対する「ディスプレイ面積」の比率を向上させることであった。その結果、「ベゼルレス」、「ノッチ」、「HIAA」(Hole in Active Area)、「UPC」(Under Panel Camera)などの機能が、この目標を達成するために開発されてきた。フェムト秒レーザーは、このような機能を可能にした主要なツールの1つである;
今日、フェムト秒レーザーは次の2つの切断用途に使用されている:
シェイプ・カッティング
高出力UVフェムト秒レーザーは、このような切断を行うために大量生産で使用されている。そのユニークな切断精度、優れた切断品質、高い生産性により、高出力UVフェムト秒レーザーは、この分野で高出力UVピコ秒レーザーに取って代わりました;
穴あけ加工
OLEDパネルの活性部に穴を開けるには、本質的に高い精度と限られた影響範囲が要求されます。ここでも、UVフェムト秒レーザは、すべての関連アプリケーションに理想的なツールである;